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随着机器人技术的发展，将机器人引入坩埚喷涂工艺中变得可行，此种设备可替代人工在高温、多尘的恶劣环境中使用，且工艺稳定，效益明显。
机器人在喷涂装置中的应用
【摘 要】
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随着机器人技术的发展，将机器人引入坩埚喷涂工艺中变得可行，此种设备可替代人工在高温、多尘的恶劣环境中使用，且工艺稳定，效益明显。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2013年1期
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