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本文介绍了Ｘ射线显微术、Ｘ射线激光全息及用晶体晶格作为长度标准的Ｘ射线干涉测量术在纳米探测中的应用 。
X射线显微术与纳米探测
【摘 要】
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本文介绍了Ｘ射线显微术、Ｘ射线激光全息及用晶体晶格作为长度标准的Ｘ射线干涉测量术在纳米探测中的应用 。
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1997年1期
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