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对Ａｕ－Ｓｉ－Ｂｅ液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍，包括源的结构，发射特性，以及不同的合金配比，源工作温度，环境气体，系统真空度对源发射稳定性的影响。
Au—Si—Be液态金属离子源发展综述
【摘 要】
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对Ａｕ－Ｓｉ－Ｂｅ液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍，包括源的结构，发射特性，以及不同的合金配比，源工作温度，环境气体，系统真空度对源发射稳定性的影响。
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1998年1期
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