主动压力抛光光学磨镜设备的压力控制器

来源 :科技开发动态 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiemei2007126
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该专利是一种主动压力抛光光学磨镜设备的压力控制器。其特征是设置了一个作用于主动压力抛光盘的压力控制器。
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