FeCOSiB／Cu／FeCOSiB多层膜的应力阻抗效应研究

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【摘要】

：

采用直流磁控溅射法在柔性Kapton基片上制备了三明治结构的FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层膜,研究了多层膜的交流阻抗随外加应力变化的规律.测试结果表明,三明治结构多层膜的阻抗随

【作者】

：

刘均东张万里彭斌

【机构】

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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

【出处】

：

材料导报

【发表日期】

：

2010年12期

【关键词】

：

FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层膜应力阻抗效应柔性基片 FeCoSiB/Cu/FeCoSiB multilayer films stress im

【基金项目】

：

国家自然科学基金（50501004）,国防预研基金（9140A23060307DZ0223）

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采用直流磁控溅射法在柔性Kapton基片上制备了三明治结构的FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层膜,研究了多层膜的交流阻抗随外加应力变化的规律.测试结果表明,三明治结构多层膜的阻抗随外加应力的增大而增大,应力阻抗效应随中间导电层厚度以及铁磁层厚度的增加而增强,同时应力阻抗效应也与测试频率密切相关.

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