【摘 要】
：
由于浸没液体和大数值孔径的引入,杂散光对光刻性能的影响更为显著和复杂,对杂散光进行分析和控制是获得良好光刻性能的关键之一.利用Prolith 9.0软件研究了不同数值孔径(NA)
【机 构】
：
中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院
【基金项目】
：
中国科学院百人计划资助项目(20011215),国家973计划资助项目(2003CB716204)
论文部分内容阅读
由于浸没液体和大数值孔径的引入,杂散光对光刻性能的影响更为显著和复杂,对杂散光进行分析和控制是获得良好光刻性能的关键之一.利用Prolith 9.0软件研究了不同数值孔径(NA)条件下,浸没式ArF光刻中杂散光对65 nm特征图形的光强分布、图像对比度、线宽均匀性、图形位置误差和工艺窗口的影响,研究结果表明,大数值孔径会导致光刻性能对杂散光更为敏感.同时还分析了偏振方向与曝光图形方向一致(Y偏振)的线偏振光对不同杂散光和数值孔径条件下的光刻工艺窗口的影响,研究结果表明,采用Y偏振光可以降低杂散光对工艺窗口
其他文献
当前确定建筑物变形观测必要精度的方法存在局限性，提出３个观点，基于观测误差不应影响对建筑物安危的判断，以允许变形值的安全度为依据较为合理；安全度应指结构验算中的强度储备；可将观测误差视作荷载误差，与其他影响结构强度的因素共同组合成结构强度偏差以反演观测精度指标．
国家赔偿法律关系中，双方当事人在地位、权利（力）、能力诸方面的对比存在巨大反差，加之国家赔偿法本身在制度设计上存在抑制赔偿的缺陷，所以，申请国家赔偿之难早已是人所：共知的事实
进一步论述地电化学现象，地电化学异常及形成，矿体产生电化学溶解等概念和成晕机制等问题。该方法寻找隐伏矿床的可行性试验研究、深部找矿预测效果及大量实际成果说明，地球电化
和谐社会是古今中外的人民孜孜不倦永恒追求的理想社会。法是社会关系的调节器，法治是实现和谐社会的最重要的维度与支柱。“法治”是相对“人治”而吉，即法律主治，是一种贯彻法
如果说，动产抵押权在《担保法》上的地位还不甚清晰的话，那么，《物权法》已然把它作为整个抵押权制度中的重要一翼，与不动产抵押权已成并驾齐驱之势。在《物权法》中，动产抵押权与
利用磁控溅射技术在Si衬底上制备Ga2O3/Ta薄膜,然后在900℃、氨气中退火合成了大量的一维单晶氮化镓纳米线.用X射线衍射、扫描电子显微镜、傅里叶红外吸收光谱、透射电子显微
到目前为止，广东法院认定驰名商标共18件。在认定驰名商标时，始终坚持被动认定、因需认定、个案认定、事实认定的原则，全面衡量稳妥掌握树立权威，坚持中院管辖实行备案制度，既不人
利用等离子辅助化学气相沉积方法在单晶硅基底表面制备出可延展的硅薄膜.通过对薄膜生长过程的观察,确定延展性是最终脆性硅薄膜生长的中间状态,实验证明,沉积层表现出的延展
《中华人民共和国物权法》（以下简称《物权法》）在历经磨难，终于在万众期盼中出台了。随之掀起的研究轰轰烈烈，褒贬不一。作为法律实务工作者，我们考察关注的焦点难免过于现实．我们
对云南双江低品位硅藻土采用原土→捣浆→分散→－沉降分级的方法，可获含ＳｉＯ２８２．２４％的硅藻精土，Ａｌ２Ｏ３，Ｆｅ２Ｏ３含量分别为６．９８％和１．０４％；同时还获ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３，Ｆｅ２Ｏ３分别为７６．１８％，１０．１０％，１．４６％的硅藻中土；精土和中土产量分别为３．２９％和１４．５６％．精土经酸浸精选，ＳｉＯ２含量提高至８４．３６％，Ａｌ２Ｏ３，Ｆｅ２Ｏ３分别