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在所研究的直线度激光测量系统中，以激光干涉光作为准直测量的基准，CCD作为光电转换元件，进行导轨直线度误差的测量与计算。通过系统的重复性实验以及与光电自准直仪的比对实验表明：测量系统的测量距离可达10m以上，可检测X轴方向上30mm以内的位移变化量，分辩力可达0．001mm。其性能指标基本达到了预定目标。