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介绍并表征了一套单法兰集成的低能电子显微镜.这套显微镜中采用了10°偏转角的磁分束器,从而有利于将其集成到一个10in的法兰上.电子光学系统中的一些修正单元被简化,以使其结构简单,容易操作.样品被置于地电位,方便各静电透镜浮在高电压上.通过几个实验展示了这台显微镜在典型的低能电子成像、低能电子衍射和光电子成像模式下的性能.低能电子成像的空间分辨率为51nm.利用飞秒激光做光源,相应的非线性光电子发射过程使得这台设备非常适合进行光学近场现象的观察,并获得110nm的光电子成像空间分辨率.