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用反应等离子喷涂方法制备了厚度约为500μm的TiN陶瓷涂层，而后对其进行在不同温度，时间，保护气氛下的退火处理，并对涂层的硬度，断裂韧性及残余应力进行了测量。借助SEM对涂层形貌进行了表征，采用XRD测量涂层的残余应力。结果表明：在大气中600℃退火后，涂层硬度最高。而在Ar800℃处理后，涂层韧性有了明显的改善。涂层残余应力为压应力，并且涂层内的残余应力随着热处理温度的升高而增大。