【摘 要】
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利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法制备聚己内酯（PCL）/氧化硅（SiOx）复合膜,研究了SiOx镀膜时间对PCL热学、力学及阻隔性能的影响.结果表明,随着镀膜时间的延长复合膜阻隔性提
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利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）法制备聚己内酯（PCL）/氧化硅（SiOx）复合膜,研究了SiOx镀膜时间对PCL热学、力学及阻隔性能的影响.结果表明,随着镀膜时间的延长复合膜阻隔性提高;测试温度为25℃时,PCL和PCL/SiOx（60 min）薄膜的氧气透过率分别为1 868和1 123 cm3/（m^2·24h）,水蒸气透过率分别为92.1和81.1 g/（m^2·24h）,其热学和力学性能几乎保持原有PCL的性能,蒸镀SiOx可提高PCL对氧气和水蒸气的阻隔性.
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