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在经典频域三点法的基础上,提出了一种新的精确频域三点法直线误差分离技术,可以分离出更为精确的直线形状误差和直行误差运动.该方法通过构造周期函数,满足了频域法中进行fourier变换的周期性条件,从而克服了经典频域三点法中直线形状误差的非封闭性、非周期性以及端点的不连续而引起的高阶谐波分量失真等边缘效应.实测结果验证了该方法的有效性.