【摘 要】
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采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6nm的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217nm的滤光片
【机 构】
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同济大学精密光学工程技术研究所; 合肥国家同步辐射实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(10576021);中国工程物理研究院联合资助项目
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采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6nm的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比较精确。在此基础上制备了121.6nm的窄带滤光片,到合肥同步辐射实验室测量的结果是中心波长在120.74nm,峰值透射率为5.94%,通带半宽度为12nm。可以看出实际制备的滤光片和预先设计的基本吻合但还是有一定的偏差,最后对实际测量的和理论设计的偏差进行了分析。
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