【摘 要】
：
基于0.6 μm标准N阱CMOS工艺,研究了光敏管的结深及其侧墙结构对有源感光单元的感光面积百分比、光电响应信号幅值、感光灵敏度以及感光动态范围等参数的影响.研究了包括传统
【机 构】
：
浙江大学信息与电子工程学系微电子技术与系统设计研究所
论文部分内容阅读
基于0.6 μm标准N阱CMOS工艺,研究了光敏管的结深及其侧墙结构对有源感光单元的感光面积百分比、光电响应信号幅值、感光灵敏度以及感光动态范围等参数的影响.研究了包括传统N+/P衬底的光敏管结构,以及网格状N+/P衬底,N阱/P衬底,网格状N阱/P衬底,P+/N阱/P衬底的光敏管结构.测试结果表明,不同深结深的光敏管结构,可以将器件感光灵敏度提高8～16.5 dB;网格状光敏管结构可以增加光敏管的侧墙面积,改善器件感光灵敏度;非网格状光敏管结构具有较低的暗电流和较大的感光动态范围,其中P+/N阱/P衬底
其他文献
通过Baylis-Hillman和酯化两步反应得到一种含原子转移自由基聚合（ATRP）引发基团的含氧三官能团单体tBCPMA，通过该单体可逆加成-断裂链转移（RAFT）均聚可得到每个重复单元含有ATRP
采用溅射法在液相外延3C-SiC上制备Ni电极,并利用圆形传输线法研究了退火温度对欧姆接触特性的影响,实验表明对于Ni/n-SiC金半接触,经过800～1 000°C高温退火5分钟后,肖特
腹腔镜以其微创、损伤小、康复快、集诊断治疗为一体，等优越性，临床应用日益广泛，成为各类良性附件包块手术治疗的首选方式。于2005年7月～2008年10月我院应用腹腔镜治疗妇科疾病6
目前，脑梗死发病率的明显升高，已引起临床高度重视，而糖尿病可加速或加重动脉粥样硬化，亦与脑梗死的发生密切相关。同时糖尿病可并发多发性神经损害，而进一步加重了脑梗死并发糖尿
直肠癌术后局部复发和转移是直肠癌治疗的关键问题。1982年Heald等首次提出直肠癌全系膜切除术（total mesorectal excision，TME）的概念后，经过20多年临床实践证明，TME可以有效降低
为了探索卵巢囊肿非开放性手术治疗新途径，自2007年以来，我们在超声引导和监视下经皮穿刺硬化治疗11例11个卵巢囊肿，现报告如下。
单纯胆囊切除术后腹腔常规引流在观察术后继发性出血，治疗胆汁漏，预防腹膜炎，腹腔感染方面有着重要的临床作用。近来随着医疗技术的发展，单纯胆囊切除术选择性放置腹腔引流管已经
目的探讨支原体、衣原体感染与血精症的相关性。方法对243例血精症患者的精液进行支原体Ureaplasma urealyticum（UU），衣原体Chlamydia trachomatis（CT）检测，与140例正常生育者精液
腹水的常见病因为肝硬化、结核性腹膜炎、腹膜恶性肿瘤和腹腔肿瘤腹膜转移或种植引起。临床上一般通过病史、腹水脱落细胞学检查或影像学等检查能明确诊断，但仍有部分患者通过
利用法国OMMIC公司的0.2 μm GaAs PHEMT工艺,设计实现了10 Gb/s NRZ码时钟信息提取电路.该电路采用改进型双平衡Gilbert单元的结构,引进了容性源极耦合差动电流放大器和调谐