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外差干涉测量系统调焦的定心方法的研究
外差干涉测量系统调焦的定心方法的研究
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiuxi1984
【摘 要】
:
本文结合一外差干涉测量系统,提出了一种简单易行的调焦和定心的方法,并对调焦和定心达到的精度进行了分析。
【作 者】
:
于瀛洁
【机 构】
:
哈尔滨工业大学机电学院
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
外差干涉
调焦
定心
光学测量系统
表面粗糙度
Heterodyne interference
Focus
Determine center
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本文结合一外差干涉测量系统,提出了一种简单易行的调焦和定心的方法,并对调焦和定心达到的精度进行了分析。
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