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期刊论文
300mm硅片技术发展现状与趋势
300mm硅片技术发展现状与趋势
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:TORO_123
【摘 要】
:
综合评述了300mm硅材料在晶体生长、硅片成形、表面质量控制、衬底优化以及表征等方面的研究现状和发展趋势,特别是国内在300mm硅技术研究中所获得的一些成果.
【作 者】
:
周旗钢
【机 构】
:
有研半导体材料股份有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
硅材料
300MM硅片
单晶硅生长技术
技术发展现状
硅片
表面质量控制
晶体生长
综合评述
发展趋势
硅材料
硅技术
衬底
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综合评述了300mm硅材料在晶体生长、硅片成形、表面质量控制、衬底优化以及表征等方面的研究现状和发展趋势,特别是国内在300mm硅技术研究中所获得的一些成果.
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