【摘 要】
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研究在碘化物体系中,采用脉冲电镀Ag-Ni合金工艺.研究表明,随着[Ni2+]/[Ag+]浓度比增大,镀层中镍含量上升;镀液温度升高时,镀层中镍含量降低;增大平均电流密度会提高镀层中镍
【机 构】
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哈尔滨工业大学应用化学系,柳州市半导体材料厂
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研究在碘化物体系中,采用脉冲电镀Ag-Ni合金工艺.研究表明,随着[Ni2+]/[Ag+]浓度比增大,镀层中镍含量上升;镀液温度升高时,镀层中镍含量降低;增大平均电流密度会提高镀层中镍含量,但使镀层表面变差;占空比和频率的变化也对镀层成份有一定影响;正反向脉冲的个数对镀层成份影响不大,但增加反向脉冲的个数,会使镀层表面状况好转.经综合分析,确定了镍含量为20%～30%的Ag-Ni合金镀层的最佳镀液组成及工艺条件.XRD分析表明,镀层结构为简单机械混合物,SEM观测表明,随镀层中镍含量升高,结晶变得粗大.
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