【摘 要】
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根据严格耦合波理论和等效介质理论，提出了针对C波段、基于半导体材料氮化镓的亚波长导模共振滤波器结构及设计方法。详细探讨了在强调制光栅的高占空比作用下，光栅周期和入射
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根据严格耦合波理论和等效介质理论，提出了针对C波段、基于半导体材料氮化镓的亚波长导模共振滤波器结构及设计方法。详细探讨了在强调制光栅的高占空比作用下，光栅周期和入射波角度对滤波器反射谱共振波长的影响。在保持滤波效果为高衍射率（共振波长峰值反射率达到99.5%以上）、低旁带和窄线宽的条件下，利用其对入射波角度的敏感性，结合仿真数值提出了一种通过 MEMS（微机电系统）平面反射镜调谐入射角角度（0-4.07°），从而线性地控制共振波长输出（调谐范围为36 nm），实现峰值半宽高低于0.8 nm的C波
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