紫外纳秒激光加工316L不锈钢微槽尺寸和形貌控制研究

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采用波长355 nm的纳秒激光对316L不锈钢进行表面微纳加工,研究了微米级沟槽的尺寸控制、紫外激光加工热影响及改善加工质量的方法.结果 表明,选择合理的搭接间距、通过控制搭接个数和扫描次数可以实现微槽尺寸的精确控制.紫外激光加工金属的热影响很小,不存在明显热扩散,近加工区组织稳定.大气中紫外激光加工存在氧化,氧化程度随着扫描次数的增大非线性提高,且激光光束扫描边缘区域氧化程度高于中心区域.加工表面呈典型的液化喷溅形貌,未加工表面容易附着熔化飞溅残渣.涂料、吹氮和酸洗可以去除附着在未加工区域的氧化飞溅物,吹氮和酸洗还能去除加工区的溅落物,并且降低表面氧化.
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