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分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响，完成了测试薄层电阻的公式的推导，对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析，得出了测试结果满足测试误差要求的结论。
探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析
【摘 要】
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分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响，完成了测试薄层电阻的公式的推导，对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析，得出了测试结果满足测试误差要求的结论。
【机 构】
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河北工业大学廊坊分院,河北工业大学
【出 处】
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北华航天工业学院学报
【发表日期】
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2007年5期
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