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论述了集成电路制备中CMP过程带来污染的重大危害,介绍了目前CMP后清洗所面临的两大新挑战,同时对CMP后清洗的现状做出了分析,提出了存在的问题,并且对未来清洗的方向进行了展望。
集成电路制备中化学机械全局平面化(CMP)后的表面清洗技术
【摘 要】
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论述了集成电路制备中CMP过程带来污染的重大危害,介绍了目前CMP后清洗所面临的两大新挑战,同时对CMP后清洗的现状做出了分析,提出了存在的问题,并且对未来清洗的方向进行了
【机 构】
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河北工业大学
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2005年11期
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