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用1％浓度的HF酸对熔石英表面刻蚀一个波长后，在三倍频激光条件下对损伤尺寸与激光辐照次数的关系进行了测试分析。实验使用波长为355nm，脉宽为10ns，频率为3Hz的Nd：YAG调Q激光器测试系统。测试结果表明，在一定的激光参数（脉宽、波长和能量）下，每个点的损伤尺寸在一定的辐照次数以后基本不再发生变化。当从激光损伤开始发生到损伤尺寸基本不再变化，损伤点的横向直径与激光辐照次数基本呈指数增长关系。