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用真空蒸发法成功制备了１７０．０～１９６．１μｇ／ｃｍ＾２的薄自支撑Ｍｇ靶膜和９０～９５μｍ的厚自支撑Ｍｇ靶膜。甜菜碱是制备Ｍｇ靶膜有解离剂，讨论了真空蒸发制靶过程中的主要技术难点。
自支撑Mg靶膜的制备
【摘 要】
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用真空蒸发法成功制备了１７０．０～１９６．１μｇ／ｃｍ＾２的薄自支撑Ｍｇ靶膜和９０～９５μｍ的厚自支撑Ｍｇ靶膜。甜菜碱是制备Ｍｇ靶膜有解离剂，讨论了真空蒸发制靶过程中的主要技术难点。
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,730000
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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1999年4期
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