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超结型高压功率MOSFET结构工作原理
超结型高压功率MOSFET结构工作原理
来源 :今日电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:IT_Consultant
【摘 要】
:
<正>目前,高压功率MOSFET具有平面型和超结型(Super Junction)两种常用的结构。早期,高压功率MOSFET主要是平面型结构,它采用厚的低掺杂的N-的外延层,即epi层,用来保证具有足
【作 者】
:
刘松
张龙
刘瞻
【机 构】
:
万国半导体元件有限公司
【出 处】
:
今日电子
【发表日期】
:
2013年11期
【关键词】
:
MOSFET
外延层
反型层
导通电阻
工作原理
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<正>目前,高压功率MOSFET具有平面型和超结型(Super Junction)两种常用的结构。早期,高压功率MOSFET主要是平面型结构,它采用厚的低掺杂的N-的外延层,即epi层,用来保证具有足够的击穿电压,低掺杂的N-的epi层的尺寸越厚,耐压的额定值越大,但是其导通电阻也
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