超结型高压功率MOSFET结构工作原理

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<正>目前,高压功率MOSFET具有平面型和超结型(Super Junction)两种常用的结构。早期,高压功率MOSFET主要是平面型结构,它采用厚的低掺杂的N-的外延层,即epi层,用来保证具有足够的击穿电压,低掺杂的N-的epi层的尺寸越厚,耐压的额定值越大,但是其导通电阻也
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