【摘 要】
：
Amorphous InGaZnO (a-IGZO) film is deposited on the glass substrate by radio-frequency sputtering and the influence of annealing on wet etch of a-IGZO films wer
论文部分内容阅读
Amorphous InGaZnO (a-IGZO) film is deposited on the glass substrate by radio-frequency sputtering and the influence of annealing on wet etch of a-IGZO films were investigated.The results show that etch rate of IGZO films decrease with the increase of annealing temperature.Etching taper angle is less than 60° and critical dimension (CD) loss is less than 1 μm in over-etching time of 30 s.The fact implies that IGZO films etching with oxalic acid may be a good wet etching way for the thin-film transistor (TFT) array process.
其他文献
目的通过应用动态血压监测仪来观察肾性高血压的动态血压变化,以及血压的变化与肾功能变化之间的相关.方法对76例肾性高血压患者及46例健康志愿者进行24 h动态血压监测,同时
四川大学华西医院于2007年3月对一位65岁高龄的2型糖尿病患者成功施行了胰肾联合移植手术。患者为男性,患2型糖尿病史15年,合并肾功能衰竭5年,并出现糖尿病眼底病变、周围神
结合临床将妇人三篇中有关治疗妇人血病的方药即血虚证方药、血瘀证方药、血寒证方药及血热证方药进行了分析.为中医药治疗妇科血证提供参考.
建立了薄层色谱 -荧光分光光度法测定葛根中葛根素含量的方法。以甲醇为溶剂进行提取 ,以氯仿-甲醇 -水 ( 7∶ 4∶ 0 .2 5)展开 ,刮下斑点后用甲醇洗脱 ,在 Ex=355nm ,Em=4 6
患者,女,61岁,因尿路感染来我院门诊治疗.体检:T 36.8 ℃,HR 76次/min,BP 15.0/10.2 kPa.生化检查:WBC 10.8×109/L,尿淡黄色,微混浊,蛋白(+),红细胞(+),尿频,其他项目正常.
为了加强流动儿童的计划免疫管理 ,于 1999年 1月在河南省开展了流动儿童计划免疫状况调查。按照不同地理位置及聚集特点将流动人口聚居地分为 4类 ,在调查点内采取挨门逐户
目的 观察双歧杆菌 QJ40 5和乳杆菌 QJ40 5在试管内对肠道致病的抑菌和杀菌效果。方法 抑菌实验 :实验组 ,双歧杆菌 QJ40 5和乳杆菌 QJ40 5分别与各致病菌共同培养 ;对照组
用高效液相色谱法测感冒清胶囊中扑热息痛含量具有方法简单,结果准确等优点,平均回收率为99.91%,RSD为1.07%.
目的 对比观察非小细胞肺癌单纯放疗和放化综合治疗的疗效。方法 从 1995年 1月到 1997年 12月 ,将符合入组条件的 82例非小细胞肺癌患者随机分为放疗组和化放疗综合治疗组
恶性腹水是原发于腹膜恶性肿瘤和恶性肿瘤腹膜转移或侵犯所导致的腹腔积液，被视为恶性肿瘤的严重并发症，治疗棘手。我科自1994年12月～1998年12月，应用抗癌中药吗特灵注射液联合腹