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激光辅助化学气相沉积金刚石薄膜实验研究
激光辅助化学气相沉积金刚石薄膜实验研究
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a0p5c115f6e
【摘 要】
:
本文采用激光辅助化学气相沉积法合成了厚度为15μm的金刚石薄膜。实验结果表明,以丙酮为碳源气体,并用XeCl(308nm)准分子解离,H2秀灯线进行予先解离,当选择和中种实验参数,可获得高质量的金刚石薄
【作 者】
:
任德明
胡孝勇
【机 构】
:
哈尔滨工业大学光电子技术研究所
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
金刚石薄膜
激光
化学气相沉积
LACVD
diamond filmlaserCVD
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文采用激光辅助化学气相沉积法合成了厚度为15μm的金刚石薄膜。实验结果表明,以丙酮为碳源气体,并用XeCl(308nm)准分子解离,H2秀灯线进行予先解离,当选择和中种实验参数,可获得高质量的金刚石薄膜。本文这讨论了衬底温度以及灯线温度等实验参数对薄膜生长速率与薄膜质量的影响。
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