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介绍了用于电子束曝光机的３０ＫＶ精密高压电源，它采用了直接调整与间接调整相结合集中补偿与分散补偿相结合的方式，并对关键技术采取了有效措施，供电源的各项技术指标均达到高精度要求。
一种复合调整型精密高压电源
【摘 要】
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介绍了用于电子束曝光机的３０ＫＶ精密高压电源，它采用了直接调整与间接调整相结合集中补偿与分散补偿相结合的方式，并对关键技术采取了有效措施，供电源的各项技术指标均达到高精度要求
【机 构】
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山东工业大学
【出 处】
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电力电子技术
【发表日期】
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1997年4期
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