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随着超光滑表面质量的不断提高，表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序，并且成为影响产品合格率的关键因素。着重介绍激光清洗的特点及超光滑表面激光辅助清洗表面微细污染微粒的机理，并通过实验性验证，表明该方法在清除超光滑表面微细污染物方面效果很好。
超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术
【摘 要】
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随着超光滑表面质量的不断提高，表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序，并且成为影响产品合格率的关键因素。着重介绍激光清洗的特点及超光滑表面激光辅助清洗表面
【机 构】
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西北工业大学飞行器制造工程系
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2000年10期
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目! ( 597750 75),,航空基础科学基金资助项目! ( 97H2 50 0 7),,西北工业大学“双新工程”资助项目
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