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本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．
冷等离子体表面改性设备的研制
【摘 要】
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本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发
【机 构】
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中央民族学院物理系,中央民族学院物理系北京100081,北京100081,北京100081
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1992年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目．
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