测头旋转式高精度圆度仪

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本文论述了测头旋转式高精度圆度仪的设计及性能,该仪器的机械部分沿用英国泰勒公司老圆度仪机械部分,加装了零位信号装置,研制了电气系统及自动转位分度台,形成测头旋转式高精度圆度仪。经理论分析和实验验证,仪器不确定度优于0.01μm,最高分辨力为0.0003μm,能自动进行4种圆度评定方法的评定,工件轮廓显示与绘图,512个采样点圆度偏差值的打印输出与存盘,工件形状谐波分析。圆度评定的计算时间小于30s,仪器亦可进行自动转位,直接测量要求特别高的超精圆度工件。
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