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用底吹氧的方法代替传统的氯化精炼法生产高纯工业硅,不增加运行成本,无环境污染,可改善产品质量.
以氧代氯精炼工业硅的工艺研究
【摘 要】
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用底吹氧的方法代替传统的氯化精炼法生产高纯工业硅,不增加运行成本,无环境污染,可改善产品质量.
【机 构】
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西安建筑科技大学 710055;安渭河精密工具公司 710043
【出 处】
：
新技术新工艺
【发表日期】
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2004年期
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