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显示Ⅲ—Ⅴ族化合物界面的通用的染色—腐蚀剂

来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxyxwxx

【摘 要】

：

描述了采用A-B位错腐蚀剂来显示Ⅲ-Ⅴ族化合物的界面。腐蚀剂使用简便,并且已用于目前所试验过的所有Ⅲ-Ⅴ族化合物。 Describes the use of A-B dislocations to show III-

【作 者】

：

G·H·Olsen 佟慧茹 

【出 处】

：

半导体情报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

化合物 界面 解理面 通用 位错 汽相外延 异质结构 材料界面 多层结构 显微照片 

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描述了采用A-B位错腐蚀剂来显示Ⅲ-Ⅴ族化合物的界面。腐蚀剂使用简便,并且已用于目前所试验过的所有Ⅲ-Ⅴ族化合物。 Describes the use of A-B dislocations to show III-V group compound interface. The etchant is easy to use and has been used for all III-V compounds tested so far.

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