【摘 要】
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KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【基金项目】
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中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金课题(KF14008), 电子科技大学中央高校基本科研业务费(A03010023801115), 四川省科技计划支撑项目(M110238012014GZ0151)
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KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道。本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman光谱技术,研究KDP晶体在SPDT加工前后表面温度和应力的分布变化。大尺寸KDP晶体经过快速微区切削后,在给定的切削工艺条件下,测量出切削部分最高瞬态温度比附近未切削部分高出将近8℃。通过Raman测量,显示切削后晶体表面存在残余拉应力。结合热力耦合模拟仿真,进一步分析了
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