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本文就溅射镀膜中,衬底偏压对膜表面层成份的影响作了定性分析。给出了在不同偏压下氧化铟锡(简称ITO)膜表面成份的俄歇探针分析结果,X射线衍射结果以及扫描电镜能谱和观察结果,从而得出衬底在加偏压0～100伏之间时,有利用提高膜的性能的结论.
衬底偏压对膜表面层成分的影响
【摘 要】
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本文就溅射镀膜中,衬底偏压对膜表面层成份的影响作了定性分析。给出了在不同偏压下氧化铟锡(简称ITO)膜表面成份的俄歇探针分析结果,X射线衍射结果以及扫描电镜能谱和观察结
【机 构】
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陕西师范大学,陕西师范大学,陕西师范大学,
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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1990年01期
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