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期刊论文
极端环境下声表面波压力传感器研究进展
极端环境下声表面波压力传感器研究进展
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sc666
【摘 要】
:
声表面波压力传感器因具有无源无线、高精度可编码、易于多参数传感集成等优点,被广泛应用于各种极端环境下的压力测量。该文首先介绍了声表面波压力传感器的工作原理及其技术优势,然后分别介绍了声表面波压力传感器在高温和高压环境下的发展现状,并讨论了该类器件的设计难点及未来发展趋势。
【作 者】
:
潘虹芝
曹健
齐梦珂
程一民
曹亮
牟笑静
【机 构】
:
重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2021年3期
【关键词】
:
高温
高压
声表面波
压力传感器
【基金项目】
:
国家重点研发计划基金资助项目(No.2019YFB2004800,No.2019YFB2004803),国家自然科学基金资助项目(No.52075061),中央高校基础研究基金资助项目(No.2019CDCGGD320),重庆大学光电工程学院项目研究生科研和创新基金资助项目(GDYKC202004)。
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声表面波压力传感器因具有无源无线、高精度可编码、易于多参数传感集成等优点,被广泛应用于各种极端环境下的压力测量。该文首先介绍了声表面波压力传感器的工作原理及其技术优势,然后分别介绍了声表面波压力传感器在高温和高压环境下的发展现状,并讨论了该类器件的设计难点及未来发展趋势。
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