论文部分内容阅读
碳热还原/氮化合成氮化硅在1450-1650℃、氮气分压700-1100kPa下进行。非晶二氧化硅与石墨粉末以n（C）/n（SiO2）=4.5比率混合、压片。样品中的氧、氮、碳含量通过LECO元素分析仪测得。反应物和生成物中各物质组成通过XRD定性分析。结果表明,通过增加氮气分压,氮化硅的稳定温度升高,二氧化硅的还原速率随着温度升高而变大。碳化硅的生成仍无法避免。与常压下的碳热还原/氮化反应一致,高压下的碳化硅和氮化硅的生成亦为连续反应。