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考虑到低温等离子体处理技术在工业中应用广泛，设计了一种基于交直流叠加供电的低温等离子体装置。完成了主电路的交流电源、直流电源及交直流叠加电路的参数设计，建立了SIMULINK仿真模型，实现了电源主电路、低温等离子体放电过程及交直流叠加供电的低温等离子装置的仿真，并通过对结果的分析证实了系统方案的可行性。