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期刊论文
MEMS热激发红外脉冲光源
MEMS热激发红外脉冲光源
来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fulinbo
【摘 要】
:
设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2~4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40Hz之
【作 者】
:
吴飞蝶
纪新明
王建业
周嘉
黄宜平
包宗明
鲍敏杭
【机 构】
:
复旦大学微电子系
【出 处】
:
光电子技术与信息
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
红外光源
发射率
气体传感器
辐射材料
infrared light source emissivity gas sensor radiation materi
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设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2~4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合多数红外传感器的要求。
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