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利用硅—微机械元件,可实现光学结构的校准元件(如微光学台),其公差在微米级。这一技术可以有利地与集成光学件组合在一起,以便传输、分路和转换光学信号。机械功能件、电子学和光电子学半导体元件,以混合制造和连接技术,相互拼合在同一块硅
光电子学微系统：集成光学在硅片上的新工艺
【摘 要】
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利用硅—微机械元件,可实现光学结构的校准元件(如微光学台),其公差在微米级。这一技术可以有利地与集成光学件组合在一起,以便传输、分路和转换光学信号。机械功能件、电子
【出 处】
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光机电世界
【发表日期】
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1994年8期
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