切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
光电子学微系统:集成光学在硅片上的新工艺
光电子学微系统:集成光学在硅片上的新工艺
来源 :光机电世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bigfish
【摘 要】
:
利用硅—微机械元件,可实现光学结构的校准元件(如微光学台),其公差在微米级。这一技术可以有利地与集成光学件组合在一起,以便传输、分路和转换光学信号。机械功能件、电子
【作 者】
:
大舟
【出 处】
:
光机电世界
【发表日期】
:
1994年8期
【关键词】
:
光电子学
集成光学
硅片
工艺
功能器件
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
利用硅—微机械元件,可实现光学结构的校准元件(如微光学台),其公差在微米级。这一技术可以有利地与集成光学件组合在一起,以便传输、分路和转换光学信号。机械功能件、电子学和光电子学半导体元件,以混合制造和连接技术,相互拼合在同一块硅
其他文献
碾压混凝土的耐久性
根据已有的研究资料,从抗渗性、抗冻性、抗冲磨性能、抗碳化性能及抗化学侵蚀等项指标对碾压混凝土的耐久性进行分析研究,并得出初步结论。
期刊
碾压混凝土
抗渗性
抗冻性
抗冲磨性
抗碳化性
抗化学侵蚀性
母亲·豆腐·月季花
岁月拉走了我童年的天真,拉长了我矮矮的影子。忘不了窗前飘香的月季,忘不了那清香的豆腐,更忘不了母亲那淳朴的心。
期刊
高中
语文
学生作文
散文
用平面波导技术开发的8^8光开关和光频滤波器
日本电信电话光电子研究所光复合部件研究部,运用平面光波导(PLC)技术研究和开发各种光部件。特别应用马赫—曾德尔(MZ)光干涉仪线路开发8×8矩阵光开关和光频滤波器等光
期刊
平面波导
光开关
光频滤波器
PLC技术
冬日看海
期刊
高中
语文
学生作文
新诗
内镜下十二指肠乳头球囊扩张联合切开术在肝外胆管结石治疗作用的探讨
目的探讨内镜下十二指肠乳头球囊扩张术(endoscopic papillary balloon dilation,EPBD)联合十二指肠乳头切开术(endoscopic sphincterotomy,EST)在肝外胆管结石治疗中的安全性及
期刊
十二指肠乳头球囊扩张术
十二指肠乳头切开术
肝外胆管结石
Endoscopic Papillary Balloon Dilation
Endoscopic Sp
营造好散文的“框架”——从近年高考优秀作文谈起
散文是一种文学体裁,是文学的记叙文、议论文、说明文,是"情文"、"美文".据统计,近两年高考考生中采用散文文体者高达20%.如何写好散文呢?通常我们说散文的特点是"形散而神不
期刊
散文
高考
语文
写作指导
结构形式
畲族医药开发研讨会在景宁召开
期刊
HPLC法测定五味子糖浆中五味子乙素的含量
期刊
五味子糖浆
中药
五味子乙素
HPLP
软X射线光学用氧化物/金属多层膜的研究
期刊
软X射线
光学系统
氧化物
多层膜
《高考语文总复习指导》
期刊
与本文相关的学术论文