【摘 要】
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针对目前发表的氧化物薄膜晶体管的研究成果中,存在着驱动电压高,工作电流小的问题,制备了垂直结构的氧化锌薄膜晶体管。器件制备是以石英玻璃为衬底,采用磁控溅射工艺,以氧
【机 构】
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哈尔滨理工大学教育部工程电介质重点实验室
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针对目前发表的氧化物薄膜晶体管的研究成果中,存在着驱动电压高,工作电流小的问题,制备了垂直结构的氧化锌薄膜晶体管。器件制备是以石英玻璃为衬底,采用磁控溅射工艺,以氧化锌薄膜为有源层。测试结果表明,制备的晶体管驱动电压低、工作电流大、载流子迁移率高。在偏压条件VGS为0.2 V,VDS为3 V时,漏源极电流IDS达到9.15 mA,开启电压Vth仅在1.35 V左右,可以作为有机发光二极管的驱动单元,具备了实用化特性。
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