【摘 要】
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本文研究了各种浓度的Br_2:CH_3OH和Br_2:HBr:H_2O两种腐蚀系统分别对用负性KPP和正性AZ1350J光致光刻胶直接掩蔽[001]InP的腐蚀特性。分别给出了腐蚀速率与溴浓度,腐蚀深度
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所,中国科学院长春物理研究所,中国科学院长春物理研究所,中国科学院长春物理研究所,中国科学院长春物理研究所
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本文研究了各种浓度的Br_2:CH_3OH和Br_2:HBr:H_2O两种腐蚀系统分别对用负性KPP和正性AZ1350J光致光刻胶直接掩蔽[001]InP的腐蚀特性。分别给出了腐蚀速率与溴浓度,腐蚀深度与时间的关系曲线。同时从结晶学角度定性解释了腐蚀速率与溴浓度,腐蚀方向与腐蚀图形的依赖关系。
In this paper, we studied the corrosion properties of [001] InP with different concentrations of Br_2: CH_3OH and Br_2: HBr: H_2O, respectively, by using negative KPP and positive AZ1350J photoresist. The curves of corrosion rate and bromine concentration, corrosion depth and time are respectively given. At the same time, the dependence of corrosion rate and bromine concentration, corrosion direction and corrosion pattern was qualitatively explained from the perspective of crystallography.
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