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采用简易多晶硅隔离方法制造制造集成稳压源是一种新的试验，本文就试验过程中为选择外延提供多晶核心的氧化膜，单，多晶同时淀积的质量控制等问题作了重点讨论。
多晶硅隔离的工艺与价值
【摘 要】
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采用简易多晶硅隔离方法制造制造集成稳压源是一种新的试验，本文就试验过程中为选择外延提供多晶核心的氧化膜，单，多晶同时淀积的质量控制等问题作了重点讨论。
【机 构】
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新乡市科协青少年科技中心
【出 处】
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平原大学学报
【发表日期】
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2000年4期
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