【摘 要】
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超精密机械滑台属于高精度精密滑台。因要求其具有高的定位精度、重复定位和直线度,故对其装配精度要求也高,在具有1.5μm的直线度的气浮测量平台上对超精密机械滑台装配、测
【基金项目】
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广东省微纳加工技术与装备重点实验室(2011A060901026);广东省应用型科技研发专项资金项目(2015B090921007)
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超精密机械滑台属于高精度精密滑台。因要求其具有高的定位精度、重复定位和直线度,故对其装配精度要求也高,在具有1.5μm的直线度的气浮测量平台上对超精密机械滑台装配、测量及精度调整。以超精密机械滑台为研究对象,采用自为基准的装配方法来安装副导轨,装配过程中,首先通过在高精度气浮平台大行程导轨上安装马尔测微仪测量机械滑台基座安装面,在安装面上安装导轨和滑块组件,滑块上安装上滑台,后续安装直线电机、光栅尺、读数头以及其它附件。待电控部分硬件接线和调试完成后进行定位精度、直线度等的测量,根据测量精度再进行提高精度的细微装配工艺的修改。目前阶段表明了通过马尔测微仪的示数变化来调整基座的直线度可以达到微米级的使用要求。
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