新型Nano-CMM二维定位平台“共平面”结构研究

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介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计。打破了传统二维定位平台堆栈的结构形式,引入了“共平面”的导向模式。经理论研究计算,能实现近零阿贝误差,满足微纳米级定位平台的要求。
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