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期刊论文
钨膜的激光化学气相沉积
钨膜的激光化学气相沉积
来源 :激光杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jexwbx45535
【摘 要】
:
本文报道用XeCl准分子激光分解W(CO)6气体分子沉积钨膜,面积约2.6cm^2,测量了膜层的厚度,电学性质和光学性质,并用扫描电镜观察了膜层的微观结构和用X光电子能谱议分析了腹层的组分
【作 者】
:
周政卓
顾原岗
邱明新
【机 构】
:
上海激光技术研究所
【出 处】
:
激光杂志
【发表日期】
:
1985年4期
【关键词】
:
激光化学气相沉积
钨膜
XECL准分子
X光电子能谱
扫描电镜观察
分子沉积
光学性质
电学性质
微观结构
光分解
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本文报道用XeCl准分子激光分解W(CO)6气体分子沉积钨膜,面积约2.6cm^2,测量了膜层的厚度,电学性质和光学性质,并用扫描电镜观察了膜层的微观结构和用X光电子能谱议分析了腹层的组分。
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