钨膜的激光化学气相沉积

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本文报道用XeCl准分子激光分解W(CO)6气体分子沉积钨膜,面积约2.6cm^2,测量了膜层的厚度,电学性质和光学性质,并用扫描电镜观察了膜层的微观结构和用X光电子能谱议分析了腹层的组分。
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