【摘 要】
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针对直角棱镜大面测量中可以消除多重干涉背景干扰的倾斜入射测量系统，设计了一种能直接进行直角棱镜大面测量的正置式倾斜入射干涉仪装置。该装置包括相移干涉仪主机、一体化载物工作台以及一对参考平晶。讨论了直角面参与反射带来的光线簇造成的多重干涉背景误差，采用3D偏折的方法来避免全内反射光干扰直角棱镜大面测量。实验部分，组装了基于倾斜入射的正置式相移干涉仪，并完成光路调校与参数标定，实现了直角棱镜大面面形的
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金（61975081）；
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针对直角棱镜大面测量中可以消除多重干涉背景干扰的倾斜入射测量系统，设计了一种能直接进行直角棱镜大面测量的正置式倾斜入射干涉仪装置。该装置包括相移干涉仪主机、一体化载物工作台以及一对参考平晶。讨论了直角面参与反射带来的光线簇造成的多重干涉背景误差，采用3D偏折的方法来避免全内反射光干扰直角棱镜大面测量。实验部分，组装了基于倾斜入射的正置式相移干涉仪，并完成光路调校与参数标定，实现了直角棱镜大面面形的测量；使用白光轮廓仪对被测棱镜大面进行比对测量，结果一致。解决了直角棱镜条的测量问题，实现了微棱镜工业化在线测量，在直角棱镜加工中具有重要的应用价值。
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