背面照射的锑砷铟-砷铟窄带探测器

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首次制成了背面照射的高性能光电二极管,它采用液相外延的锑砷铟-砷铟异质结,在77 K时,改变其组分,能使峰值波长从3.1微米调到7微米以上。己得到窄至1760埃的半宽光谱响应(4微米时)。在77K下,内量子效率为90%,零偏压电阻面积乘积2×10~7欧厘米~2。 For the first time, a high-performance back-illuminated photodiode was fabricated using liquid-phase epitaxial antimony arsenic indium-arsenic indium heterojunctions and changing its composition at 77 K to tune the peak wavelength from 3.1 to 7 microns . The half-width spectral response has been narrowed to 1760 angstroms (at 4 microns). At 77K, the internal quantum efficiency is 90%, and the area of ​​the zero bias resistor is 2 × 10 ~ 7Ω cm ~ 2.
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