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应用最佳能量为１２ＭｅＶ的电子束对大功率开关晶体管进行了辐照。结果表明，经电子束辐照的开关晶体管具有开关特性优良、热稳定性高、器件参数一致性好等特点。
采用高能电子束辐照技术制造高反压大功率开关晶体管
【摘 要】
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应用最佳能量为１２ＭｅＶ的电子束对大功率开关晶体管进行了辐照。结果表明，经电子束辐照的开关晶体管具有开关特性优良、热稳定性高、器件参数一致性好等特点。
【机 构】
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南京大学
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2000年10期
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