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类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备
类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备
来源 :上海机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:renmin9999
【摘 要】
:
本文介绍了类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备原理和4种方法,同时指出了它们的应用前景。
【作 者】
:
季泳
周鹏飞
【机 构】
:
上海机械学院仪器仪表学院,上海机械学院仪器仪表学院
【出 处】
:
上海机械学院学报
【发表日期】
:
1992年3期
【关键词】
:
类金刚石
金刚石
薄膜
制备
Diamond-like carbon coatings
Diarnonds thin film
Preparation of
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本文介绍了类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备原理和4种方法,同时指出了它们的应用前景。
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