类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备

来源 :上海机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:renmin9999
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本文介绍了类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备原理和4种方法,同时指出了它们的应用前景。
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