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一种新型Si电子束蒸发器的研制及其应用研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xinleng1987

【作 者】

：

王科范  刘金锋  邹崇文  徐彭寿  潘海滨  张西庚  王文 

【出 处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2005年01期

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