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采用云纹干涉法对混合集成电路金属封装底座（铜基板－可伐密封圈结构）的热变形进行了测试研究，在集成电路工作温度范围内的不同温度条件下，获得了底座的截面位移场分布及变形数据，并计算了样品的热膨胀率。文中对可伐引线、密封圈的应变特征及其对铜基板热变形的影响进行了讨论，并提出了改善封装热应力的途径。
混合集成电路金属封装底座热变形的实验研究
【摘 要】
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采用云纹干涉法对混合集成电路金属封装底座（铜基板－可伐密封圈结构）的热变形进行了测试研究，在集成电路工作温度范围内的不同温度条件下，获得了底座的截面位移场分布及变形数据，并
【机 构】
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首都师范大学物理系,清华大学微电子学研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 !( 6 9776 0 2 9)
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